殘余氣體分析儀對真空性能的影響
發(fā)布時間：2019-03-07
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殘余氣體分析儀對真空性能的影響
- 在真空系統(tǒng)中,殘余氣體是影響真空工藝性能及真空器件壽命的重要因素。因為真空系統(tǒng)中的殘余氣體及某些有害氣體,會破壞真空系統(tǒng)的性能,還可能會促發(fā)某些損壞真空室內(nèi)應用器件的現(xiàn)象。在實際工作中,有時不但要降低真空器件中殘余氣體的量,更要控制殘余氣體的成份。本文對不同抽氣系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體進行了分析,并對改進超高真空系統(tǒng)的排氣手段和降低真空系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體分壓力的抽氣方法進行了較詳細的介紹和論述。
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