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殘余氣體分析儀何時(shí)使用|殘余氣體分析儀與檢漏儀的區(qū)別

發(fā)布時(shí)間:2020-10-30
  • 殘余氣體分析儀何時(shí)使用|殘余氣體分析儀與檢漏儀的區(qū)別

  • 萊寶殘余氣體分析儀(RGA)也有檢漏的功能,它和檢漏儀有什么區(qū)別呢?
  • 讓我們探討一下檢漏儀和殘余氣體分析儀(RGA)的功能,以及何時(shí)需要使用RGA技術(shù)吧。
  • 萊寶殘余氣體分析儀和檢漏儀
  • 1、檢漏儀如何工作
  • 檢漏儀可以識(shí)別,分析和測量進(jìn)入或泄漏出封閉空間的氣體或流體。檢漏儀通常內(nèi)置真空系統(tǒng),既能搜索漏點(diǎn),又能測量漏率。 
  • 大多數(shù)檢漏儀使用磁扇區(qū)質(zhì)譜,檢測氦氣。粒子在真空中被電離,并隨著電壓的增加而加速,從而在磁場中將其分離,并將離子轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鳌?/li>
  • 2、殘余氣體分析儀
  • 殘余氣體分析儀(RGA)的功能不僅僅限于氦氣,它能評估空間中存在的所有氣體。
  • RGA的三個(gè)基本組成部分
  • 離子源 -- 離子源用于將空間中的氣體轉(zhuǎn)化為離子。從熱燈絲發(fā)射的電子利用電偏壓加速。快速移動(dòng)的電子與氣體分子碰撞,將氣體電離。 
  • 離子過濾器(四極杠)-- 在給定條件下只有特定的離子能“穿”過四級桿到達(dá)探測器。
  • 檢測器 -- 穿過過濾器的離子與法拉第杯的金屬板碰撞收集。隨著電子轉(zhuǎn)化為電信號,離子被中和,形成離子的電流。
  • 檢漏儀_殘余氣體分析儀_萊寶
  • 3、RGA和檢漏儀:異同
  • RGA和檢漏儀都利用質(zhì)譜原理。與檢漏儀相比RGA的優(yōu)勢在于它能檢測氦氣以外的氣體如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “檢漏”只是RGA的附加功能之一。
  • RGA沒有配備獨(dú)立的真空系統(tǒng),需要設(shè)備的真空系統(tǒng)支持。
  • 4、RGA何時(shí)有所作為
  • RGA既可以用于極高真空系統(tǒng)的殘余氣體分析又能作為工藝氣體監(jiān)測儀實(shí)現(xiàn)工藝控制。
  • RGA應(yīng)用示例
  • 檢漏儀_殘余氣體分析儀_萊寶
  • 檢漏儀_殘余氣體分析儀_萊寶
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