【萊寶真空計算】烤箱
發(fā)布時間：2019-07-08
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【萊寶真空計算】烤箱
- 為實現(xiàn)高真空范圍 (<10-8 hPa) 內(nèi)的壓力，必須滿足以下條件：
- 真空泵的低壓應該低于所需極限壓力的 10 倍。
- 真空室和部件所使用的材料必須針對出氣量進行優(yōu)化，并且具有適當?shù)谋砻嫣幚淼燃墶?/li>
- 應該使用金屬密封件（例如，CF 法蘭連接或 ISO 法蘭標 準的 Helicoflex 密封件）。
- 清潔工作是超高真空所必須，即：所有部件必須在安裝前 徹底清潔并必須佩帶無油脂手套進行安裝。
- 設備和高真空泵必須進行烘烤。
- 在啟動加熱器之前，必須避免并排除泄漏。為此，必須使用氦氣檢漏儀或四極桿質(zhì)譜儀。
- 烘烤顯著增加解吸率和擴散率，而且這會導致抽吸時間大大縮短。作為制造工藝的一個步驟，UHV 用途的腔室可在溫度高達 900 °C 時進行退化。后續(xù)烘烤溫可能達到 300 °C。泵制造商有關高真空泵法蘭烘烤溫度的說明通常將作業(yè)中的高溫度限制為120 °C。如果在真空設備中使用熱源（例如，輻射加熱），則不得超過允許的輻射功率。
- 設備在安裝完畢后投入運行。在達到 10-5 hPa 的壓力后，開 啟加熱器。在加熱過程中，以 10 小時的間隔對真空計進行操作并脫氣。如果使用具有適當表面處理等級的不銹鋼容器和金屬密封件，120°C 的烘烤溫度和約 48 小時的加熱時間足 以達到 10-10 hPa 的壓力范圍。
- 烘烤應該持續(xù)，直至達到預期極限壓力的100 倍。然后關閉泵和真空室的加熱器。在冷卻后，很可能會實現(xiàn)所需的極限壓力。在壓力低于 5 · 10-10 hPa 且內(nèi)表面積較大時，將有利于使用氣體結(jié)合泵（鈦升華泵），該泵以高體積流量抽出從金屬中逸出的氫氣。
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