引言
萊寶干式真空泵系統(tǒng)采用萊寶干式螺桿泵和羅茨泵相結(jié)合，模塊化設(shè)計(jì)、易于使用和保養(yǎng)、經(jīng)濟(jì)且高效，現(xiàn)已成功運(yùn)用于多種工藝流程。
1 設(shè)計(jì)緊湊 節(jié)省空間
2 極低噪音 改善環(huán)境
3 節(jié)能高效 降低成本
4 清潔技術(shù) 無油排放
5 設(shè)計(jì)緊湊 節(jié)省空間
6 針對快速抽空/進(jìn)樣室應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化
● 熔煉爐 ● 冷凍
● 電池 ● 太陽能
● 拉晶 ● 工具鍍膜
● 玻璃鍍膜 ● 濺射/裝飾鍍膜
● 顯示屏
預(yù)裝配的真空泵系統(tǒng)（基本款）。監(jiān)視、控制、編程和電力電子部件均由客戶提供。
標(biāo)準(zhǔn)配置：
? 側(cè)面排氣
? 三路吹掃氣體模塊
可選配置：
雙路吹掃氣體模塊、氣鎮(zhèn)、防返閥、快速接頭（供水）、電源和信號源對接接頭、繼電器板（數(shù)字 I\O)
智能款真空泵系統(tǒng)擁有集成電子部件、吹掃氣體系統(tǒng)和關(guān)鍵參數(shù)的監(jiān)測裝置、簡單易用的操控方式（本地/遠(yuǎn)程）以及附加功能（例如連接真空計(jì)）
標(biāo)準(zhǔn)配置：
? 數(shù)字 I\O接口
? 直接連接各種不同的真空規(guī) (CTR、DU、TTR)
? 緊急停機(jī) (EMS)
? 電壓降補(bǔ)償 (≤2S)
? 三路吹掃氣體模塊
? 側(cè)面排氣
可選配置：
雙路吹掃氣體模塊、氣鎮(zhèn)、防返閥、快速接頭、Profibus、以太網(wǎng)或 Profinet 接口！
